くわしいないよう
よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み ファブから検査まで製造装置を俯瞰する
- かいたひと 佐藤／淳一‖著
- しゅっぱん 秀和システム
- しゅっぱんねん 2019.12
- ないよう 洗浄・乾燥装置、イオン注入装置、熱処理装置など、半導体製造装置の構造・構成から検査・測定・解析装置までを、豊富なイラストを交え、現場に近い視点から解説する。
ぞうしょ
| ばんごう | かん | ばしょ | きごう | しりょうくぶん | 禁帯 | しりょうじょうたい | びこう |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 12356139 | 茅野市本館 | 一般ｺｰﾅｰ | 549 ｻ | 一般書 | |||
| 21171831 | 岡谷市本館 | 一般ｺｰﾅｰ | 549 ｻ | 一般書 | |||
| 32228310 | 諏訪市 | 一般ｺ-ﾅ- | 549.8 ｻ | 一般書 |
よやくのかず
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きほんじょうほう
| タイトル | よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み |
|---|---|
| タイトルヨミ | ﾖｸ/ﾜｶﾙ/ｻｲｼﾝ/ﾊﾝﾄﾞｳﾀｲ/ｾｲｿﾞｳ/ｿｳﾁ/ﾉ/ｷﾎﾝ/ﾄ/ｼｸﾐ |
| サブタイトル | ファブから検査まで製造装置を俯瞰する |
| サブタイトルヨミ | ﾌｧﾌﾞ/ｶﾗ/ｹﾝｻ/ﾏﾃﾞ/ｾｲｿﾞｳ/ｿｳﾁ/ｵ/ﾌｶﾝ/ｽﾙ |
| サブタイトル | 製造技術の神髄 |
| サブタイトルヨミ | ｾｲｿﾞｳ/ｷﾞｼﾞｭﾂ/ﾉ/ｼﾝｽﾞｲ |
| 著者 | 佐藤／淳一‖著 |
| 著者ヨミ | ｻﾄｳ,ｼﾞｭﾝｲﾁ |
| 出版者 | 秀和システム |
| 出版者ヨミ | ｼｭｳﾜ/ｼｽﾃﾑ |
| 本体価格 | ¥2000 |
| 内容紹介 | 洗浄・乾燥装置、イオン注入装置、熱処理装置など、半導体製造装置の構造・構成から検査・測定・解析装置までを、豊富なイラストを交え、現場に近い視点から解説する。 |
| ＩＳＢＮ(10桁) | 978-4-7980-6037-8 |
| 出版年月,頒布年月等 | 2019.12 |
| ページ数等 | 261p |
| 大きさ | 21cm |
| NDC9版 | 549.8 |
| ＮＤＣ10版 | 549.8 |
かいたいひと
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＜佐藤／淳一‖著＞
京都大学大学院工学研究科修士課程修了。ソニー（株）入社、半導体や薄膜デバイス・プロセスの研究開発に従事。著書に「よくわかる最新半導体プロセスの基本と仕組み」など。
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