くわしいないよう
図解でわかる半導体製造装置
- かいたひと 菊地／正典‖監修
- しゅっぱん 日本実業出版社
- しゅっぱんねん 2007.4
- ないよう 「半導体製造装置」のしくみとそれを支える技術を解説する。半導体の製造工程の流れと、その各工程で使用される製造装置との関連を明確にしながら説明。装置の構造、操作原理、技術のすべてが理解できる一冊。
ぞうしょ
| ばんごう | かん | ばしょ | きごう | しりょうくぶん | 禁帯 | しりょうじょうたい | びこう |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 21122027 | 岡谷市本館 | 一般ｺｰﾅｰ | 549 ｽ | 一般書 |
よやくのかず
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きほんじょうほう
| タイトル | 図解でわかる半導体製造装置 |
|---|---|
| タイトルヨミ | ｽﾞｶｲ/ﾃﾞ/ﾜｶﾙ/ﾊﾝﾄﾞｳﾀｲ/ｾｲｿﾞｳ/ｿｳﾁ |
| 著者 | 菊地／正典‖監修 |
| 著者ヨミ | ｷｸﾁ,ﾏｻﾉﾘ |
| 出版者 | 日本実業出版社 |
| 出版者ヨミ | ﾆﾎﾝ/ｼﾞﾂｷﾞｮｳ/ｼｭｯﾊﾟﾝｼｬ |
| 本体価格 | ¥1900 |
| 内容紹介 | 「半導体製造装置」のしくみとそれを支える技術を解説する。半導体の製造工程の流れと、その各工程で使用される製造装置との関連を明確にしながら説明。装置の構造、操作原理、技術のすべてが理解できる一冊。 |
| ＩＳＢＮ(10桁) | 978-4-534-04217-0 |
| 出版年月,頒布年月等 | 2007.4 |
| ページ数等 | 182p |
| 大きさ | 21cm |
| NDC9版 | 549.8 |