資料詳細
資料情報
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タイトル
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図解でわかる半導体製造装置
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タイトルヨミ
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ｽﾞｶｲ/ﾃﾞ/ﾜｶﾙ/ﾊﾝﾄﾞｳﾀｲ/ｾｲｿﾞｳ/ｿｳﾁ
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著者
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菊地／正典‖監修
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著者ヨミ
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ｷｸﾁ,ﾏｻﾉﾘ
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出版者
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日本実業出版社
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出版者ヨミ
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ﾆﾎﾝ/ｼﾞﾂｷﾞｮｳ/ｼｭｯﾊﾟﾝｼｬ
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本体価格
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\1900
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内容紹介
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「半導体製造装置」のしくみとそれを支える技術を解説する。半導体の製造工程の流れと、その各工程で使用される製造装置との関連を明確にしながら説明。装置の構造、操作原理、技術のすべてが理解できる一冊。
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ＩＳＢＮ(10桁)
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978-4-534-04217-0
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出版年月,頒布年月等
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2007.4
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ページ数等
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182p
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大きさ
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21cm
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NDC9版
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549.8
所蔵情報
- 21122027
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- 所蔵館
- 岡谷市本館
- 請求記号
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549
ｽ
- 資料区分
- 一般書
- 禁帯区分
- 資料状態
- 予約数
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0件