タイトル | はじめての薄膜作製技術 |
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タイトルヨミ | ハジメテ/ノ/ハクマク/サクセイ/ギジュツ |
著者 | 草野/英二‖著 |
著者ヨミ | クサノ,エイジ |
著者標目(著者紹介) | 神戸大学大学院工学研究科工業化学専攻修士課程修了。金沢工業大学教授。日本真空協会スパッタリングおよびプラズマプロセス技術部会部会長。 |
出版者 | 工業調査会 |
出版者ヨミ | コウギョウ/チョウサカイ |
本体価格 | ¥2200 |
内容紹介 | コンピュータ、デジタル家電からメガネレンズまで、基盤技術として欠くことのできない薄膜作成技術について、はじめて学ぶ人ができる限り体系的に理解できるように解説する。 |
ISBN(10桁) | 4-7693-1252-0 |
出版年月,頒布年月等 | 2006.3 |
ページ数等 | 191p |
大きさ | 21cm |
NDC9版 | 549.8 |
ばんごう | かん | ばしょ | きごう | しりょうくぶん | 禁帯 | しりょうじょうたい | びこう |
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21119142 | 岡谷市本館 |
一般コーナー
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549 ク | 一般書 |