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タイトル
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よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み
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タイトルヨミ
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ﾖｸ/ﾜｶﾙ/ｻｲｼﾝ/ﾊﾝﾄﾞｳﾀｲ/ｾｲｿﾞｳ/ｿｳﾁ/ﾉ/ｷﾎﾝ/ﾄ/ｼｸﾐ
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タイトル標目(ローマ字形)
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Yoku/wakaru/saishin/handotai/seizo/sochi/no/kihon/to/shikumi
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サブタイトル
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ファブから検査まで製造装置を俯瞰する
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サブタイトルヨミ
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ﾌｧﾌﾞ/ｶﾗ/ｹﾝｻ/ﾏﾃﾞ/ｾｲｿﾞｳ/ｿｳﾁ/ｵ/ﾌｶﾝ/ｽﾙ
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タイトル関連情報標目(ローマ字形)
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Fabu/kara/kensa/made/seizo/sochi/o/fukan/suru
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サブタイトル
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製造技術の神髄
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サブタイトルヨミ
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ｾｲｿﾞｳ/ｷﾞｼﾞｭﾂ/ﾉ/ｼﾝｽﾞｲ
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タイトル関連情報標目(ローマ字形)
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Seizo/gijutsu/no/shinzui
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シリーズ名
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図解入門
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シリーズ名標目(カタカナ形)
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ｽﾞｶｲ/ﾆｭｳﾓﾝ
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シリーズ名標目(ローマ字形)
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Zukai/nyumon
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シリーズ名標目(典拠コード)
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605818700000001
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シリーズ名
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Ｖｉｓｕａｌ Ｇｕｉｄｅ Ｂｏｏｋ
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シリーズ名標目(カタカナ形)
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ｳﾞｨｼﾞｭｱﾙ/ｶﾞｲﾄﾞﾌﾞｯｸ
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シリーズ名標目(原綴形(全部欧文の場合))
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Ｖｉｓｕａｌ Ｇｕｉｄｅ Ｂｏｏｋ
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シリーズ名標目(ローマ字形)
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Bijuaru/gaidobukku
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シリーズ名標目(アルファベット・数字を含むカタカナ形)
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Visual/Guide/Book
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シリーズ名標目(典拠コード)
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605818710010001
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シリーズ名関連情報
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Ｈｏｗ‐ｎｕａｌ
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シリーズ名関連情報標目(カタカナ形)
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ﾊｳﾆｭｱﾙ
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シリーズ名関連情報標目(原綴形(全部欧文の場合))
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How‐nual
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シリーズ名関連情報標目(ローマ字形)
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Ｈａｕｎｙｕａｒｕ
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シリーズ名関連情報標目(アルファベット・数字を含むカタカナ形)
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How/nual
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著者
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佐藤／淳一‖著
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著者ヨミ
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ｻﾄｳ,ｼﾞｭﾝｲﾁ
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著者標目(漢字形(西洋人以外の統一形))
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佐藤／淳一
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著者標目(ローマ字形)
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Sato,Jun'ichi
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著者標目(付記事項(生没年))
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１９５４〜
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著者標目(著者紹介)
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京都大学大学院工学研究科修士課程修了。ソニー（株）入社、半導体や薄膜デバイス・プロセスの研究開発に従事。著書に「よくわかる最新半導体プロセスの基本と仕組み」など。
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記述形典拠コード
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110005670310000
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著者標目(統一形典拠コード)
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110005670310000
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件名標目(漢字形)
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半導体
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件名標目(カタカナ形)
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ﾊﾝﾄﾞｳﾀｲ
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件名標目(ローマ字形)
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Handotai
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件名標目(典拠コード)
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511311800000000
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出版者
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秀和システム
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出版者ヨミ
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ｼｭｳﾜ/ｼｽﾃﾑ
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出版者・頒布者等標目(ローマ字形)
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Shuwa/Shisutemu
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本体価格
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¥2000
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内容紹介
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洗浄・乾燥装置、イオン注入装置、熱処理装置など、半導体製造装置の構造・構成から検査・測定・解析装置までを、豊富なイラストを交え、現場に近い視点から解説する。
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ジャンル名
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技術･テクノロジｰ（01）
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ジャンル名(図書詳細)
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電子･半導体（120080080000）
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ＩＳＢＮ(13桁)
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978-4-7980-6037-8
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ＩＳＢＮ(10桁)
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978-4-7980-6037-8
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ISBNに対応する出版年月
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2019.12
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ISBN(13桁)に対応する出版年月
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2019.12
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TRCMARCNo.
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19053863
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出版地,頒布地等
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東京
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出版年月,頒布年月等
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2019.12
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出版者・頒布者等標目(出版年月,頒布年月等(数字))
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201912
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出版者・頒布者等標目(出版者コード)
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3520
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出版者典拠コード
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310000177380001
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ページ数等
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261p
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大きさ
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21cm
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装丁コード
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ソフトカバｰ（10）
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刊行形態区分
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単品（A）
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NDC8版
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549.8
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NDC9版
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549.8
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ＮＤＣ10版
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549.8
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図書記号
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ｻﾖ
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図書記号(単一標目指示)
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751A01
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利用対象
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一般（L）
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書誌・年譜・年表
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文献：ｐ２６１
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『週刊新刊全点案内』号数
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2139
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版表示
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第３版
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ストックブックスコード
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注目の1冊☆（SS1）
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テキストの言語
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日本語（jpn）
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出版国コード
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日本国（JP）
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索引フラグ
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1
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データレベル
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確定（F）
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更新レベル
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0001
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MARC種別
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新刊流通図書掲載（A）
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最終更新日付
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20191206
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一般的処理データ
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20191204 2019 JPN
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レコード作成機関(国名コード)
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JP
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レコード作成機関(レコード作成機関名)
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TRC
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レコード作成機関(レコード提供年月日)
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20191204
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レコード作成機関(目録規則)
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NCR1987
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レコード作成機関(システムコード)
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trcmarc
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しばらくお待ちください。