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タイトル
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図解でわかる半導体製造装置
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タイトルヨミ
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ｽﾞｶｲ/ﾃﾞ/ﾜｶﾙ/ﾊﾝﾄﾞｳﾀｲ/ｾｲｿﾞｳ/ｿｳﾁ
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タイトル標目(ローマ字形)
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Zukai/de/wakaru/handotai/seizo/sochi
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著者
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菊地／正典‖監修
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著者ヨミ
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ｷｸﾁ,ﾏｻﾉﾘ
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著者標目(漢字形(西洋人以外の統一形))
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菊地／正典
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著者標目(ローマ字形)
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Kikuchi,Masanori
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記述形典拠コード
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110003070310000
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著者標目(統一形典拠コード)
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110003070310000
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件名標目(漢字形)
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半導体
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件名標目(カタカナ形)
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ﾊﾝﾄﾞｳﾀｲ
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件名標目(ローマ字形)
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Handotai
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件名標目(典拠コード)
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511311800000000
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出版者
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日本実業出版社
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出版者ヨミ
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ﾆﾎﾝ/ｼﾞﾂｷﾞｮｳ/ｼｭｯﾊﾟﾝｼｬ
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出版者・頒布者等標目(ローマ字形)
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Nihon/Jitsugyo/Shuppansha
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本体価格
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¥1900
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内容紹介
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「半導体製造装置」のしくみとそれを支える技術を解説する。半導体の製造工程の流れと、その各工程で使用される製造装置との関連を明確にしながら説明。装置の構造、操作原理、技術のすべてが理解できる一冊。
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ジャンル名
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01
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ジャンル名(図書詳細)
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120080080000
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ＩＳＢＮ(13桁)
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978-4-534-04217-0
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ＩＳＢＮ(10桁)
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978-4-534-04217-0
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ISBNに対応する出版年月
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2007.4
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ISBN(13桁)に対応する出版年月
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2007.4
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TRCMARCNo.
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07019726
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Gコード
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31876396
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出版地,頒布地等
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東京
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出版年月,頒布年月等
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2007.4
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出版者・頒布者等標目(出版年月,頒布年月等(数字))
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200704
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出版者・頒布者等標目(出版者コード)
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5915
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出版者典拠コード
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310000189030000
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ページ数等
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182p
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大きさ
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21cm
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装丁コード
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10
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刊行形態区分
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A
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NDC8版
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549.8
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NDC9版
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549.8
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図書記号
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ｽﾞ
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図書記号(単一標目指示)
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551A01
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利用対象
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L
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『週刊新刊全点案内』号数
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1517
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ストックブックスコード
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SS1
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テキストの言語
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jpn
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出版国コード
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JP
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索引フラグ
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1
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データレベル
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F
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更新レベル
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0001
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MARC種別
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A
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最終更新日付
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20070413
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一般的処理データ
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20070411 2007 JPN
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レコード作成機関(国名コード)
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JP
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レコード作成機関(レコード作成機関名)
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TRC
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レコード作成機関(レコード提供年月日)
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20070411
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レコード作成機関(目録規則)
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NCR1987
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レコード作成機関(システムコード)
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trcmarc
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和洋区分
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0
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しばらくお待ちください。