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資料情報

資料詳細・全項目
タイトル よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み
タイトルヨミ ﾖｸ/ﾜｶﾙ/ｻｲｼﾝ/ﾊﾝﾄﾞｳﾀｲ/ｾｲｿﾞｳ/ｿｳﾁ/ﾉ/ｷﾎﾝ/ﾄ/ｼｸﾐ
サブタイトル ファブから検査まで製造装置を俯瞰する
サブタイトルヨミ ﾌｧﾌﾞ/ｶﾗ/ｹﾝｻ/ﾏﾃﾞ/ｾｲｿﾞｳ/ｿｳﾁ/ｵ/ﾌｶﾝ/ｽﾙ
サブタイトル 製造技術の神髄
サブタイトルヨミ ｾｲｿﾞｳ/ｷﾞｼﾞｭﾂ/ﾉ/ｼﾝｽﾞｲ
著者 佐藤／淳一‖著
著者ヨミ ｻﾄｳ,ｼﾞｭﾝｲﾁ
著者標目(著者紹介) 京都大学大学院工学研究科修士課程修了。ソニー（株）入社、半導体や薄膜デバイス・プロセスの研究開発に従事。著書に「よくわかる最新半導体プロセスの基本と仕組み」など。
出版者 秀和システム
出版者ヨミ ｼｭｳﾜ/ｼｽﾃﾑ
本体価格 ¥2000
内容紹介 洗浄・乾燥装置、イオン注入装置、熱処理装置など、半導体製造装置の構造・構成から検査・測定・解析装置までを、豊富なイラストを交え、現場に近い視点から解説する。
ＩＳＢＮ(10桁) 978-4-7980-6037-8
出版年月,頒布年月等 2019.12
ページ数等 261p
大きさ 21cm
NDC9版 549.8
ＮＤＣ10版 549.8

所蔵情報

登録番号 所蔵館 所蔵場所 請求記号 資料区分 禁帯区分 資料状態 備考
12356139 茅野市本館
一般ｺｰﾅｰ
549 ｻ 一般書
21171831 岡谷市本館
一般ｺｰﾅｰ
549 ｻ 一般書
32228310 諏訪市
一般ｺ-ﾅ-
549.8 ｻ 一般書
予約数 0件
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