トップページ

じょうほう

もっとくわしいないよう
タイトル 図解でわかる半導体製造装置
タイトルヨミ ｽﾞｶｲ/ﾃﾞ/ﾜｶﾙ/ﾊﾝﾄﾞｳﾀｲ/ｾｲｿﾞｳ/ｿｳﾁ
著者 菊地／正典‖監修
著者ヨミ ｷｸﾁ,ﾏｻﾉﾘ
出版者 日本実業出版社
出版者ヨミ ﾆﾎﾝ/ｼﾞﾂｷﾞｮｳ/ｼｭｯﾊﾟﾝｼｬ
本体価格 ¥1900
内容紹介 「半導体製造装置」のしくみとそれを支える技術を解説する。半導体の製造工程の流れと、その各工程で使用される製造装置との関連を明確にしながら説明。装置の構造、操作原理、技術のすべてが理解できる一冊。
ＩＳＢＮ(10桁) 978-4-534-04217-0
出版年月,頒布年月等 2007.4
ページ数等 182p
大きさ 21cm
NDC9版 549.8

しょぞう

ばんごう かん ばしょ きごう しりょうくぶん 禁帯 しりょうじょうたい びこう
21122027 岡谷市本館
一般ｺｰﾅｰ
549 ｽ 一般書
よやくのかず 0件
＋注意点
  • うけとりかんをえらんで「よやくカートへ」のボタンをおしてください。