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資料情報

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タイトル はじめての薄膜作製技術
タイトルヨミ ﾊｼﾞﾒﾃ/ﾉ/ﾊｸﾏｸ/ｻｸｾｲ/ｷﾞｼﾞｭﾂ
著者 草野／英二‖著
著者ヨミ ｸｻﾉ,ｴｲｼﾞ
著者標目(著者紹介) 神戸大学大学院工学研究科工業化学専攻修士課程修了。金沢工業大学教授。日本真空協会スパッタリングおよびプラズマプロセス技術部会部会長。
出版者 工業調査会
出版者ヨミ ｺｳｷﾞｮｳ/ﾁｮｳｻｶｲ
本体価格 ¥2200
内容紹介 コンピュータ、デジタル家電からメガネレンズまで、基盤技術として欠くことのできない薄膜作成技術について、はじめて学ぶ人ができる限り体系的に理解できるように解説する。
ＩＳＢＮ(10桁) 4-7693-1252-0
出版年月,頒布年月等 2006.3
ページ数等 191p
大きさ 21cm
NDC9版 549.8

所蔵情報

登録番号 所蔵館 所蔵場所 請求記号 資料区分 禁帯区分 資料状態 備考
21119142 岡谷市本館
一般ｺｰﾅｰ
549 ｸ 一般書
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